Siliziumnitrid-Keramikmaterialien verfügen über hervorragende Eigenschaften wie hohe thermische Stabilität, Oxidationsbeständigkeit und hohe Maßhaltigkeit der Produkte. Da Siliziumnitrid eine kovalente Verbindung mit hoher Bindungsstärke ist und an der Luft einen Oxidschutzfilm bilden kann, weist es auch eine gute chemische Stabilität auf. Bei Temperaturen unter 1200 Grad oxidiert es nicht und der bei 1200 bis 1600 Grad gebildete Schutzfilm kann eine weitere Oxidation verhindern. Es dringt nicht in geschmolzene Metalle oder Legierungen wie Aluminium, Blei, Zinn, Silber, Messing und Nickel ein, kann jedoch in geschmolzenen Flüssigkeiten wie Magnesium, Nickel--Chromlegierungen und Edelstahl korrodieren.
Aus Siliziumnitrid-Keramikmaterialien können technische Hochtemperaturteile, hochentwickelte feuerfeste Materialien in der metallurgischen Industrie, korrosionsbeständige Teile und Dichtungselemente in der chemischen Industrie sowie Messer und Schneidwerkzeuge im Maschinenbau hergestellt werden.
Da Siliziumnitrid eine starke Verbindung mit Siliziumkarbid, Aluminiumoxid, Thoriumdioxid, Bornitrid usw. eingehen kann, kann es als Bindemittel verwendet und in verschiedenen Verhältnissen modifiziert werden.
Darüber hinaus kann Siliziumnitrid in Solarzellen eingesetzt werden. Nachdem der Siliziumnitridfilm durch PECVD abgeschieden wurde, kann er nicht nur als Antireflexfilm verwendet werden, um die Reflexion des einfallenden Lichts zu reduzieren, sondern auch während des Abscheidungsprozesses des Siliziumnitridfilms dringen Wasserstoffatome aus dem Reaktionsprodukt in den Siliziumnitridfilm und auf den Siliziumwafer ein und spielen dort die Rolle eines Defektpassivators. Das Verhältnis der Stickstoffatome im Siliziumnitrid beträgt dabei nicht streng 4:3, sondern schwankt je nach Prozessbedingungen in einem gewissen Bereich. Die physikalischen Eigenschaften des Films entsprechend unterschiedlichen Atomverhältnissen sind unterschiedlich. Es wird für Ultrahochtemperatur-Gasturbinen, Flugzeugtriebwerke, Elektroöfen usw. verwendet.
andere Anwendungen von Siliziumnitrid
Feb 27, 2025
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